所在院系：微纳科学技术研究院

张卫平

所属学科：微电子学与固体电子学

1990.8-1994.7年重庆大学机械工程专业本科，1994.8-1997.7重庆大学机械工程专业硕士，2005.4上海交通大学电子科学与技术专业博士，1997.8-1999.8上海交通大学信息存储研究中心助教，1999.8 -2004.8年上海交通大学微纳米科学技术研究院讲师，2004.8-2009.12年上海交通大学微纳科学技术研究院副教授，2009.12.31起任上海交通大学微纳科学技术研究院研究员。

微米纳米加工技术国家级重点实验室副主任，系统设计、集成与测试研究室主任。

研究方向：微机电系统的集成、设计、检测和控制，目前研究工作主要集中在微惯性、微机器人、MEMS安保技术、微生物晶片等领域。

多年来一直从事微机电系统、精密仪器及其相关技术的研究，先后主持或参与多项国家和省部级课题，研究内容涉及微惯性技术（悬浮转子微陀螺、固态微陀螺、高G加速度计等）、MEMS安保技术、PCR晶片、微仿生机器人（仿鸟/仿昆扑翼飞行器等）、微减速器、电磁型微马达、旋转式微泵、LiGA及準LiGA技术中的微複製工艺、宝钢螺旋飞剪改造工程、H型钢轧机动态模拟与仿真、同步辐射生物大分子光束线、XSAF光束线关键设备等，其中包括主持的国家863计画“可用于微卫星及微飞行器的磁悬浮转子微陀螺的研究”、“一种新的用于信息安全的MEMS强链”、“用于信息安全的MEMS强链的套用研究”、“基于MEMS强链的硬碟物理认证和物理加密技术”，主持的自然科学基金项目“毫米尺度惯性级可控“势能阱”永磁转子自稳悬浮新概念MEMS 微陀螺的研究”、“基于MEMS的磁阿基米德反磁势阱钳生物微操纵与晶片”，主持的“微气泡驱动的集成PCR反应器的研究”、“基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺的基础研究”、“非硅多梁圆盘型高过载自检型微加速度计研究”、“基于MEMS的振翅飞行机械昆虫的研究”、“基于MEMS的微惯性器件基础研究”等省部级或学校支持的研究项目，参与的“微机械悬浮转子陀螺技术”、“非硅精密机械製造技术”、“先进惯性感测器研究”、“基于MEMS技术的仿生微型飞行机器人的研究”等国家和省部级项目。

主要研究兴趣包括：微惯性(微陀螺、微加速度计等)、微流控生化晶片、微仿生机器人、微安全保证等微纳光机电技术及其相关的设计、电路控制检测、微纳加工和系统集成和套用。在国内外学术期刊或会议上发表论文100余篇，申请专利100余项，授权专利80余项。

2007年入选上海市人事局“上海人才发展资金”资助计画，2008年获上海交通大学SMC优秀青年教师奖，2010年入选教育部新世纪优秀人才支持计画。获2008年国家技术发明二等奖，2004年北京市科技进步二等奖，2005年军队科技进步二等奖，2005年上海市科技进步三等奖，2006年机械工业科技进步二等奖，2006年高等学校技术发明一等奖，2006年高等学校专利一等奖，2007年上海市技术发明一等奖，2007年第十届中国专利优秀奖，2008年教育部自然科学二等奖。