哈尔滨工业大学精密工程研究所成立于1998年，其前身为成立于1963年的机械系精加工研究室，是专职从事国防精密与超精密加工技术研究的科研单位，自1988年起开始承担多项大型工程项目。在与学校各系所共同承担航天惯性导航测试设备研究的同时，进行超精密加工理论、工具机设备与刀具、超精密加工工艺、关键部件研製等相应研究。自1998年併入机电工程学院成立精密工程研究所以来，通过承担基础科研、国家基金委重点项目、863重大专项、航天系统科研项目、中国工程物理研究院惯性聚变专项、省市项目等，在超精密加工及相关研究领域取得了一系列突出成绩。除获得国家首批211工程重点建设资助学科、国家首批985重点建设资助学科、国家第一批长江学者特聘教授岗位外，近几年还成为国防科技工业超精密机械加工技术研究套用中心技术依託单位、黑龙江省超精密与特种加工重点实验室、教育部超精密加工与测量技术创新团队，并获国防科技进步奖、省部科技进步奖多项，取得学术研究领域、工程技术研究领域国内领先地位。

精密工程研究所现有25人的专职研究与工程队伍，包括教授/博导7人，副教授/副研究员/高级工程师9人，工程师及讲师7人，高级技师1人，其中14人具有博士学位，本所还另聘有15名左右高级工程师和技师。该超精密加工技术学术方向的主要科研人员还包括十余名机械製造及自动化系和航空宇航製造系的教授、副教授和具有博士学位的青年教师等。目前在所工作的国家杰出青年基金获得者2人，长江学者特聘教授和讲座教授3人，全国百名优秀博士论文获得者1人，教育部新世纪优秀人才1人。目前有80余名博士和硕士研究生在研究所从事相关课题研究。

精密工程研究所现有25人的专职研究与工程队伍，包括教授/博导9人，副教授/副研究员/高级工程师8人，工程师及讲师7人，高级技师1人，其中16人具有博士学位，本所还另聘有15名左右高级工程师和技师。该超精密加工技术学术方向的主要科研人员还包括十余名机械製造及自动化系和航空宇航製造系的教授、副教授和具有博士学位的青年教师等。目前在所工作的国家杰出青年基金获得者2人，长江学者特聘教授和讲座教授3人，全国百名优秀博士论文获得者1人，全国百名优秀博士论文提名奖1人，教育部新世纪优秀人才1人。目前有80余名博士和硕士研究生在研究所从事相关课题研究。

精密工程研究所科研方向隶属于机械工程一级学科和机械製造及其自动化二级学科，在近五年内，主持科研项目40余项，其中重大课题10项（超过50万元以上），获得省部级以上的奖励3项，发表论文230余篇，其中被SCI、EI收录的70余篇。自1999年以来，培养博士生18人、硕士生30余人、博士后2人。现承担博士研究生学位课一门、硕士生学位课多门。

目前，精密工程研究所是国防科技工业超精密机械加工技术研究套用中心技术依託单位、黑龙江省超精密及特种加工重点实验室，获得“超精密加工与测量技术教育部创新团队”，“黑龙江省研究生优秀导师团队”，“哈尔滨工业大学优秀创新团队”荣誉。并与上海工具机厂有限公司、杭州杭机股份有限公司、河南新机股份有限公司等国内知名企业建立了合作研究基地。

精密超精密及纳米加工基础理论

方向简介：该方向针对精密、超静密及纳米加工基础理论，开展了採用分子动力学、有限元方法的计算机模拟、难加工及複合材料的超精密加工机理、光电晶体材料的脆塑转变加工机理、金刚石刀具的磨损机理以及超精密新加工方法的材料去除机理等方向的研究。

精密超精密加工工艺与装备

方向简介：该方向开展了精密超精密加工工具机的设计、製造、精密定位控制等方面的研究工作，研製了国内第一台超精密工具机，并开发了多台超精密加工工具机、微小工具机、金刚石刀具的研磨工具机。在此基础上，开展了超精密车削、超精密磨削、微小铣削等加工工艺的研究。

超精密测量

方向简介：该方向开展了非标设备超精密检测技术研究、KDP晶体机械力学特性研究、亚表层完整性的检测与评价等方面的研究。并开展了利用原子力显微镜对生物细胞的微观形貌和纳米尺度的机械性能的检测以及微小靶球形貌的纳米检测等方面的研究。

微纳製造技术

方向简介：该方向主要开展了基于扫描探针显微镜原理的纳米加工技术、聚合物纳米结构自组装调控技术、纳米压印技术、採用机械化学複合方法的纳米加工技术、纳米结构薄膜製备技术、碳纳米管针尖的製备与套用技术等方向的研究。

精密非标设备研製

方向简介：开展了现代设计方法的套用、精密仿真转台的研製、ICF领域精密光机设备的研製的研究工作。将现代设计理论套用到精密超精密非标设备的研製中，为各类精密非标设备的研製和精度及性能预测奠定了设计基础。研製了多品种数十项高精度测试设备、全物理仿真设备和国防大型非标机械设备等，自主创新的完成了ICF领域多项光机设备的集成。

面向未来的超精密製造装备与关键技术

方向简介：在千人计画特聘教授科研项目计画支持下，开展了“面向2020年的高精度可持续製造系统与关键技术的大製造科学研究”，该项目计画框架由“精密与微纳製造”和“可持续製造” 两个研究方向组成。这两个研究方向相辅相成，紧密结合，共同支撑起以高精度、可持续为牵引的大製造科学。精密与微纳製造包括四个研究方向：智慧型工具、新概念装备、装备系统精度测试与评定方法和面向精密与微纳製造的高精度测量机。