微系统与微结构製造教育部重点实验室成立于2006年，2009年7月通过建设验收。实验室以微系统与微结构为研究对象，以机械製造及其自动化、机械电子工程、材料加工工程、精密仪器及机械等4个国家级重点学科为主要依託，以微电子与固体物理、化学、物理学等学科为基础，通过多学科交叉与融合，建设和完善了微纳米製造理论与方法、微系统与微结构设计、微结构加工技术、微纳米技术装备、微成形与微连线技术、纳米材料製备表征与套用等若干研究方向。

实验室拥有科研用房面积4000余平方米，仪器设备300余台，设备总值6000余万元。现有千人计画教授1名，长江学者5名，国家杰出青年基金获得者3名，国家优秀青年基金获得者2名，国家重大基础研究计画首席科学家1名，教育部新世纪优秀人才14名，黑龙江省杰出青年基金获得者8名，教育部创新团队1个。2007-2012年间，承担微纳米技术研究方向科研项目259项、总经费2亿余元；获国家技术发明二等奖2项，省部级一等奖6项，二等奖5项；发表学术论文719篇，获国家发明专利112项；获全国优秀博士学位论文奖1项，提名奖4项。

实验室现有专职教师和研究人员45名，其中有教授26人（博导22人），副教授8人，讲师（助理研究员）11人。目前实验室拥有科研用房面积4000 m²、仪器设备总值3000余万元。

主任：王振龙教授

副主任：刘绍琴教授，单德彬教授，刘晓为教授

主任委员：蔡鹤皋

副主任委员：谭建荣

委员：（按音序排列）
郭斌梁迎春 刘胜 孙立宁 王跃林 杨 辉 尤政张之敬

实验室以微结构与微系统为研究对象，瞄準国际学科前沿，立足国防建设，面向国民经济主战场，围绕我国製造业发展中的重大科技问题，通过多学科交叉与融合，建设和完善了微纳製造技术、纳米科技、微纳系统集成等若干研究领域。微纳製造技术研究领域下设微塑性成形、微铸造成形，微注射成形、SPM加工、微细特种加工、微连线等若干研究方向。纳米科技研究领域下设纳米材料、纳米生物、纳米器件、纳米医学、纳米能源和纳米表征等若干重要基础与套用研究方向。

实验室拥有各种大型先进仪器设备40余台，为各学科方向搭建了微系统与微结构加工、测试与表征研究平台，包括由微冲压系统、微塑性成型系统、微塑性拉伸试验机、微注射成型机等组成的微纳加工平台；由离子束刻蚀系统、原子层沉积系统、电阻蒸发镀膜机、可变转速比率的行星式高能球磨机等组成的材料製备平台；由场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜、扫描探针显微镜、徕卡热台偏光显微镜、HJY萤光分光光谱仪、热分析仪等组成的材料表征平台；另外，生物医学平台和能源环境平台正在建设中。

实验室现有长江学者3名（程凯、孙立宁、Nicholas A. Kotov）；国家杰出青年基金获得者6名（程凯、孙立宁、沈军、高明远、唐智勇、蒋兴宇）；黑龙江省杰出青年基金获得者7名（郭斌、梁迎春、单德彬、孙秀冬、甄良、沈军、王铀）；新世纪优秀人才9名（孙秀冬、单德彬、王铀、沈军、陈明君、荣伟彬、雷圣宾、刘绍琴、胡平安）；承担微纳米技术研究方向科研项目60余项、总经费7,900余万元；获国家技术发明二等奖1项，教育部自然科学一等奖1项，黑龙江省技术发明一等奖1项；培育并建成了“精密与微纳製造国防紧缺学科”，完成了哈工大微系统与微结构製造技术研究从无序到有序、从散兵突击到集团作战的战略转变，形成了特色鲜明的微系统与微结构製造技术研究和人才培养基地。

主要科研成果如下