化工行业中的超纯水设备主要套用于电池行溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合，对于水质要求相对来说不是太高，纯水电导率从0.1uS/cm-20uS/cm就基本上能满足要求。化工行业用超纯水设备一般採用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前製取超纯水最经济，化工行业用超纯水设备也是目前最环保的超纯水製备工艺，不需要用酸硷进行再生便可连续製取超纯水，化工行业用超纯水设备对环境没什幺破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。
设备优点
1、出水水质具有最佳的稳定度。
2、能连续生产出符合用户要求的超纯水。
3、模组化生产，并可实现PLC全自动控制。
4、不需酸硷再生，无污水排放。
5、不会因再生而停机。
工艺
1、採用离子交换方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、採用二级反渗透方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、採用EDI方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
套用领域
(1)电子工业：半导体工业超纯水、积体电路清洗用水製备;
(2)电力工业：高压锅炉补给水製备;
(3)製药行业：医用纯化水的製备;
(4)化学工业：溶液的脱盐提纯;
(5)实验室：分析用超纯水的製备。
